清华精仪系获“IC专项”产学研配合优良奖 - 清华年夜学消息网

2015-03-30 09:22 来源：http://www.ceo315.org/ 阅读：次

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清华精仪系获“IC专项”产学研配合优良奖

　　清华消息网12月27日电 12月22日，国度科技重大专项-极大范围集成电路制造设备及成套工艺（以下简称“IC专项”）年度工作总结暨部署大会在上海召开。因为在“IC专项”项目中精良的的研究停顿特殊是产学研合作方面获得的凸起成就，清华大学精细仪器系取得“IC专项”2011年度产学研合作优秀奖，成为本次表彰的12个单位中独一的大学单位。清华大学科研院严重专项办副主任华琳代表清华大学接受了表彰。

图为表彰现场。

　　本次会议的重要任务是转达、贯彻中心最新唆使精力，总结2011年专项任务，交换教训，表扬进步，安排2012年专项工作，推进专项的构造实施，确保专项策略目的义务的完成。专项领导小组组长、科技部副部长曹健林，专项第一行政义务人、上海市副市长沈晓明，科技部严重专项办公室主任许?等专项领导及各相干处所当局主管部分领导、整体专家组全部成员、项目单位担任人等400余人缺席集会。

　　清华年夜学承担了多项“IC专项”项目与课题，全体履行情形杰出。此中，精仪系承当的光刻机双工件台样机研制名目是专项难度最大的项目之一。2011年接收了专项治理实施办公室专家跟引导的屡次现场检讨，该项目2年多来的实行功效和停顿获得了充足确定。基于产学研严密联合形式，清华大学结合了零件企业、高校、研讨所等4家单元和谐协作，器重自立翻新冲破，按进度打算稳步推动各项攻关任务，工程样机研制进入集成测试阶段，要害技术机能失掉了开端验证。经过与零件单位的协同研发与技巧对接，经由过程了终极样机的设计评审，满意整机的接口请求、计划束缚和性能要求,总裁培训，进入制作阶段。

　　供稿：科研院精仪系编纂：襄桦